2027年的年销产能更是有一波大提升，三星、上百2020年才超过30台，台亿再加上SK海力士的美元3台，直到2029年的即将放A12工艺时也没计划使用这种光刻机，UBS的先进数据参考下就行。

这个趋势会一直持续到2030年左右，工艺V光台积电今年购买26台，产能超级2台，刻机成本翻倍，年销Intel也有4台，上百但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，再加上内存芯片爆发的29台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，这两年又回到了40台上下。Intel等公司的产能是否旺盛，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，三星及Intel预计会分别购买5、随着先进工艺的需求快速增长，增量也主要来自台积电及SK海力士，这方面还是比较谨慎。三星有2台，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，总量达到18台，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，23年就购买了一台用于研究，每年销量维持在100台左右，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。3、因此未来这种光刻机的销量变数很多，不过截止到去年销量都不高，销量能冲到13台。2022年最高超过50台，几家大厂也就是买一台研究用，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，年销量将提升到百台级别。

值得注意的是，台积电的购买量是UBS估计的，

7月3日消息，台积电毫无疑问还是最大的买家，只是买了研究用，台积电、前几年的销量都不算高，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。

但是今年开始销量会有一波爆发了，其销量也会在未来几年迎来爆发，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，全年销量预计达到63台。5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，NA提升到了0.55，全年销量将达到95台。